原子核外的电子在不同状态下所具有的能量，可用能级来表示。在一般情况下，原子处于最低能量状态，称为基态。当原子获得足够的能量后，就会使外层电子从低能级跃迁至高能级，这种状态称为激发态。原子外层电子处于激发态是不稳定的，当它从激发态回到基态时，会释放出多余的能量，得到发射光谱。而谱线强度与元素的浓度有一定的关系。电感耦合等离子体发射光谱仪就是利用等离子体加热激发样品，通过测量每个元素所发射的特征波长的谱线强度来对样品中各种元素进行定性、半定量和定量分析，确定元素在样品中的含量。等离子体作为发射光谱分析的光源，具有使试样蒸发、解离、原子化和激发、跃迁产生光辐射的作用，是目前发射光谱法中广泛应用的新型光源。

相对标准偏差：μg/ml。有效地用于测定高、中、低含量的元素，是同时测定多种无机元素的有力工具。